OHT（Overhead Hoist Transport）：空中走行式无人搬送车，是一种自动化搬送装置，能够在空中轨道上行驶，实现物料在设备装卸口的搬送。
WPS（Wireless Power Supply）：非接触式供电技术，是一种利用电磁感应向搬送装置传输电力而无需机械接触的供电技术，FAB洁净室内OHT等搬送装置均通过此方式供电。
MCS（Material Control System）搬送控制/管理系统，是AMHS的总控制系统，可总体控制全部搬送设备（例如OHT、AGV、Stocker）。系统实时监控工厂AMHS设备状态，从上位系统（MES or RTD）接收命令，计算最优搬送路径，拆解并下发命令给各个存储和搬送设备。
Stocker：是一种在高洁净度车间使用的物料存储设备。
Tower/Lifter：是一种在高洁净度车间使用的跨楼层垂直输送设备。
RGV（Rail Guided Vehicle）：无线供电轨道运输车，是一种在地面轨道上行驶，实现物料无人自动化搬送的设备。
AMR（Autonomous Mobile Robot）：自主移动机器人，是一种加装协作机器人的物料传送设备，实现多种载具的自动搬运及设备上下料。
E-rack：电子货架，是一种在高洁净度车间使用的线边物料存储设备，具有读码和自动监测储位功能。
NTB（Near tool Buffer）：一种物料存储设备，置于设备端作为该设备的专属小型stocker。
Dummy Load port：用于对接天车，人员通过此load port将载具从空中缓存（OHB）传出或将载具手动传上OHB。
EFEM（Equipment Front End Module）：设备前端模块，安装在工艺设备前面，用于设备自动化传送晶圆。
SORTER：晶圆分选设备，可以自动对晶圆进行分批、合批、读码作业。
OHB N2（Overhead Hoist Buffer N2 Charger）：空中氮气充气设备，用于降低FOUP内湿度和氧气。
E84：通讯模块，是免焊接的Load port信号侦听模块