MES(Manufacturing Execution System):制造执行系统,通过流程控制管理产品整个生产过程,实现全流程信息追溯。
生产工艺复杂
良率影响因素复杂
设备控制复杂
智能化程度要求高
生产控制精度要求高
产能瓶颈优化难
材料耗用复杂
管理权限维度多
采用分布式架构,稳定性好
支持晶圆级追溯
支持X86 Server,支持Linux/Windows,硬件配置要求宽松,易于维护
支持跨平台应用(如PDA应用)
源于成熟大厂的行业know-how
源于全自动化工厂设计,适应工厂升级改造
具备更优的防病毒策略、轻量化IT维护
RMS(Recipe Management System)—配方管理系统,通过平台管控实现recipe的集中式管理,并通过流程签核发布生效,实现Recipe ID, Body, Version等多维度管控。
配方的生效和发布管理
实现配方自动上传下载,参数实时监控,配方信息自动比对
Golden Recipe的形成及管理
配方创建和设定通过复制黄金配方实现,防止人员设定出现错误
设备每次生产之前会对比设备和系统端配方,一致后方可开始生产
同群组的设备配方都是通过同一黄金配方复制得到,配方一致性好,易于管控
配方审核流程需要制程、工艺、良率等多部门签核,共同把关配方变更
DMS(Defect Management System):缺陷分析管理系统,通过对MAP图档实时自动采集、归类、数据分析统计,实现产品缺陷预防与控制、故障追溯真因,可与YMS系统结合,共同提高产品质量。