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赋能国家半导体智造

"麒麟"OHT

我们的产品

OHT(Overhead Hoist Transport):天车,是一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,实现物料在设备装卸口之间的搬送;
WPS (Wireless Power Supply):非接触式供电系统,利用电磁感应原理,通过无线(非接触)方式向沿轨道移动的设备传输电力的系统;
OHTC(Overhead Hoist Transport Controller):天车控制系统,管理在轨道上行驶的天车,采用先进算法,功能全面,可实现1000+台车集控;
OHB(Overhead Hoist Buffer):位于轨道下方,用于物料暂存,可改善产品Queue time,提高产量。

我们的优势

采用道达自研WPS非接触式供电,技术领先;
采用自研边缘计算机控制系统控制,可存储地图和计算路径;
自研OHT控制系统,支持1000台以上OHT控制;
全系统采用冗余设计,包括电柜、网络、服务器等。
WPS非接触式供电系统

我们的产品

WPS(Wireless Power Supply):非接触式供电技术,是一种利用电磁感应向搬送装置传输电力而无需机械接触的供电技术,FAB洁净室内OHT等搬送装置均通过此方式供电。

我们的优势

取电方式

无线取电,不产生火花、粉尘;
现取现用,无需充电等待;
支持短时间停电补偿。

智能控制

实时监控电流、电压、温度;
过流、过压、过热保护;
支持fail over自动切换机制;
兼容多种通讯协议。

体积重量

取电单元小巧,相同功率下,
重量不到电池的1/5;
无需背负坦克链,自由灵活。

电缆部署

沿轨道部署,不额外占用管路;
移动负载轨迹全覆盖,无需排队;
长度可扩展,支持直线、曲线、埋地等多种安装方式。
取电器类型
H型取电器H型取电器
E型取电器E型取电器
平板取电器平板取电器
MCS物料传输控制系统

我们的产品

MCS(Material Control System):物料传输控制系统 ,是一种实现物料自动化搬送的系统。 系统实时监控工厂AMHS设备状态,从上位系统(MES or RTD)接收传送指令,计算最优搬送路径, 拆解并下发传送指令给各AMHS控制器,实现物料的自动化搬送。

解决的问题

工厂内AMHS(Stocker,Lifter,OHT,AGV等)设备自动化搬送;
工厂物流搬送cycle time统计,稼动率分析,便于改善搬送效率;

我们的优势

面向标准SECS/GEM AMHS装备的快速部署;
具备非SECS/GEM装备的客制化集成部署;
自研OHTC/AGVC/STKC/LFTC/CVC等单元控制系统;
整合国内外多家厂商OHT/STK/LFT/AGV;
Stocker 工厂存储设备

我们的产品

Stocker:是一种在高洁净度车间使用的物料存储设备,能够自动完成FOUP的搬送及存储保管需求, 保证晶圆有序安全的生产。可实时查询并更新FOUP位置并反馈至自动化物料控制系统,支持与设备间的自动化搬送。
technicalSpeciations

我们的优势

采用自研WPS非接触式供电,无粉尘产生,保证洁净度;
自研晶圆机器人,国产化率高;
节拍快,存储效率高,最大吞吐量可达到225盒/小时;
自研晶圆机器人,国产化率高;
STOCKER
Tower(Lifter) 工厂存储设备

我们的产品

Tower/Lifter:是一种在高洁净度车间使用的跨楼层垂直输送设备。

解决的问题

直接搬送晶圆盒,可与人工/AGV/CV/STK等自动化设备直接对接,提升跨楼层晶圆传送效率;
振动小,动作稳定,保证物料安全;
掌握符合洁净工厂要求的材料选用与表面处理方法,保证洁净度。
STOCKER
RGV无线供电轨道运输车

我们的产品

RGV(Rail Guide Vehicle):轨道制导小车,采用非接触式供电,实现多种物料在不同设备之间运输和上下料。

解决的问题

实现多种载具的自动搬运及自动上下料;
提升产线设备稼动率,实现7*24h作业;
自动作业从根本上减少人员带来的污染,搬运稳定安全,振动值小,保障产品质量;
满足快节拍的传送需求,实现产能最大化。

我们的优势

采用WPS非接触式供电(轨道与地板持平),洁净度高,免维护;
搬送高效,最大传送速度可达2m/s;
走道宽度要求低(单行:600mm,并行:1200mm);
柔性高,适应不同设备,不同载具的搬运和上下料。
AMR自主移动机器人

我们的产品

AMR (Autonomous Mobile Robot) :自主移动机器人,是一种加装协作机器人的物料传送设备,实现多种载具的自动搬运及设备上下料(夹爪、机械手臂、开合机构设计)。

解决的问题

实现多种载具的自动搬运及自动上下料,代替人工,降低人工作业强度,缓解工厂招工难问题;
提高工厂搬运节拍,提升产线设备稼动率,实现全天作业;
自动作业从根本减少人员带来的污染,搬运稳定安全,振动值小,保障产品质量。

我们的优势

提供多种配置选型,品类丰富,支持多种物料/载具的搬运和夹取;
支持各种非标机构设计及集成,提供一体化的解决方案;
支持对老旧机台进行改造并实现与AMR的对接。
AMHS自动化物料搬运生态

Dummy Load port

Dummy Load port :用于对接天车

人员通过此load port 将载具从空中缓存(OHB)传出或将载具手动传上OHB。

E-rack:电子货架

是在高洁净度车间使用的线边物料存储设备,具有读码和自动监测储位功能。

NTB( Near tool Buffer )

一种物料存储设备,置于设备端作为该设备的专属小型stocker。

OHB N2

OHB N2(Overhead Hoist Buffer N2 Charger):空中氮气充气设备,用于降低FOUP内湿度和氧气。

E84:通讯模块,是免焊接的Load port信号侦听模块。