Dummy Load port :用于对接天车
人员通过此load port 将载具从空中缓存(OHB)传出或将载具手动传上OHB。
是在高洁净度车间使用的线边物料存储设备,具有读码和自动监测储位功能。
一种物料存储设备,置于设备端作为该设备的专属小型stocker。
OHB N2(Overhead Hoist Buffer N2 Charger):空中氮气充气设备,用于降低FOUP内湿度和氧气。
E84:通讯模块,是免焊接的Load port信号侦听模块。